工艺控制,提供了一个全面方案,针对量产的要求去优化工艺窗口和光刻系统设置,最终实现更小的器件尺寸。
是的,这是我们第一次反超新芯光刻机和尼康,成为全球光刻机工艺的no.1。”
伯特很得意,欧美资本对asml的支持完全可以用不遗余力来形容。
即便是在金融危机期间,先是荷兰给了asml一笔10亿美元的无息贷款,然后是英特尔和台积电参与了asml的再融资。
要知道台积电可是裁员了一万人。
而asml不仅没有裁员,反而扩充了研发部门。
新芯也没闲着,同样扩大了对新芯光刻机以及上下游国产供应商的扶持,同时为了打压asml的市场,新芯光刻机还降价了。
新芯和amsl在光刻机领域的竞争,带来的直接后果就是尼康和佳能被干得奄奄一息,asml和新芯光刻机扩张的员工,大部分都来自尼康和佳能。
尼康别说扩张和研发,他们连之前的产能都维持不住了。
要不是华盛顿盯着,尼康甚至想把光刻机业务剥离出来卖给新芯。不让我玩,我干脆不玩了。
“在芯片设计阶段,asml的一体化光刻技术使用实际的光刻机配置和调节功能,以工艺窗口最大化为目标来创建瞄准指定工艺世代和应用的设计。
他们采用了全新的光源掩模优化技术,可以为光瞳形状带来灵活性,并提供额外设计自由度。asml这次旧金山的发布会放了很多大招,这些技术的结合,使光源掩模和照明源实现无以伦比的协同优化,帮助他们获得了最大的工艺窗口。”林本坚神情凝重。
因为asml提前放出消息,称他们这次会有很多新技术。所以林本坚是去参加了旧金山的电子展,他在参加完回到张江后倍感压力。
“在制造过程中,asml他们整的这套一体化光刻技术充分利用独特的测量技术和反馈回路,可以实时监控刻蚀精度和cpu性能,使系统持续以工艺规格为中心。”林本坚继续说。
新芯光刻机的技术专家们汇聚一堂,大家都在讨论asml这次放的大招,可能给新芯光刻机带来的影响,以及他们要怎么追赶。
“老实说这一套我们也能搞,问题是我们需要知道,asml在这套技术路线里,设置了哪些专利墙,如果专利墙太多,我们可能要想绕开的办法。”新芯光刻机的某位技术专家说。
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