每秒9000
每秒1万
……
一直加到每秒2万,满足使用频率要求。
所有人都被震惊到麻木,依然是取得成功!
“再加,再往上加!”
每秒3万
每秒4万
每秒4万5
每秒5万!
“锡滴释放频率达到上限,特么还是取得成功!”操作员毫无形象的狂喊。
“转化光强是额定光强的2.5倍!”
向广林眼睛通红的大吼道:“这意味着这台光刻机处理晶元的效率,至少艾思迈euv的两倍以上,我们一台,能顶他们两台!”
“你们别叫!”
蒲伟才高高挥起了后,盯着持续时间后的数据,极力压制情绪的说道:“看看每秒5万滴锡滴,每秒10万次击打的情况下,这个系统能稳定工作多长时间?你们别吵,你们的噪音,可能影响它的发挥。”
所有人都安静了下来。
屏住了呼吸。
目光都死死盯上了持续时间。
5分钟
15分钟
第29分38秒
由于累积误差越来越大,没有纠偏系统进行纠正,整个系统终于自动停止了运动。
啪!
蒲伟才右拳用力轰击自己左掌,满脸涨红的说道:“3分钟就足够了,原本只要3分钟,就不用配套设计非常复杂的纠偏系统了,没想到它坚持了足足半个小时!我们只要设计一套非常简单的纠偏系统,就能让它长期稳定的工作了,整个系统的复杂度至少能降低10%,给我们省下大量的时间!”
“太厉害了,太神奇了!”
作为项目负责人,他自己开始大呼小叫:“光源问题彻底解决了,双工台现成就有,镜头完全能用,我们的euv光刻机,完成度至少超过90%!”
“我们完全看到胜利的希望了!”
说着,他泪如坝崩,几欲捧面大哭一场。
毕竟十几年了,这一次,他是真的看到希望了,就在他的面前,已经触手可及。
见他如此,跟他一个团队的其他成员,也都擦着眼角,发出呜呜的声音。
“还没真成功呢,眼泪不如留到庆功宴。”
一个略有些扫兴的声音传来。
却听卫明说道