28纳米光刻机。
28纳米已经是目前炎国国内光刻机的顶尖水平。
在目前全球光刻机市场中,asml、佳能以及尼康是最大的三家供应商,他们占据了全球99%的市场份额。
佳能和尼康主要生产22纳米的“低端”duv光刻机,而asml大部分产品都是更高端的euv光刻机。
duv和euv实际区别就是光源,duv指“深紫外线”,euv指“极深紫外线”,听名字就能感觉到euv技术更加牛逼。
确实也是如此,duv光刻机的光源波长为193纳米,euv光源波长为13.5纳米,而且euv光源并非地球上天然存在的光线,需要特定的技术和设备才能够制造出来的。
在光源波长越短,折射率越大,能量越大的原理下,光源波长为193纳米的duv光源一般只能实现25纳米制程,iorg凭借工作台模式做到了10纳米,但后续再也无法突破10纳米。
太积电也强行用duv光源生产过第一代7纳米芯片,但是是通过duv多重曝光实现的,不但工艺复杂,良品率低,其实上所谓的7纳米还有很大水分,太积电也是在第二代7纳米芯片的时候就全面换成euv光源了。
也就是说,duv光源做做28纳米、56纳米的制程还行,但涉及7纳米、5纳米,duv几乎没戏,只能靠euv技术。
而现在全球范围内,能生产euv光刻机的供应商,全球只有asml一家!
毫不夸张的说,asml凭借euv技术彻底垄断了全球中高端光刻机市场,根据最新一年的销售额来看,asml的光刻机占据91%的市场份额,尼康6%,佳能仅仅3%。
凤凰集团这台产自炎国沪市微电子(smee)的28纳米光刻机当然也只是duv光源,不过哪怕是“低端”的duv技术,也是非常难得了。
实际上,虽然目前沪市微电子厂已经实现28纳米光刻机量产,但一直受限于产能,每年产能也就两三台,在凤凰集团之前总共只有三家企业拿到了微电子生产的国产28纳米光刻机,凤凰算是在高领资本运作下,才顺利优先拿到28纳米光刻机。
胡来心里已经十分满足。
凤凰即将拥有了属于自己的28纳米光刻机,虽然制程不算太先进,但只要28纳米光刻机能成功安装生产,凤凰半导体就真正成为一家集设计、制造、封装测试到销售
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